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UltraINSP 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)
UltraFilm薄膜測量系統(tǒng)
FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測量系統(tǒng)
QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀
QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
QuickPRO-3D--表面輪廓儀
QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
iFocus晶圓檢測系統(tǒng)
EVG720自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
FR-Mic：全自動帶顯微鏡多點測量膜厚儀
FR-pRo：Thetametrisis膜厚測量儀
FR-Scanner：自動化高速薄膜厚度測量儀
FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自動化高速薄膜厚度測量儀
FR-Ultra晶圓厚度測量系統(tǒng)
FR-ES精簡薄膜厚度測量儀
EVG770 NTDymek岱美儀器分步重復納米壓印光刻機
EVG850 TB自動化臨時鍵合系統(tǒng)
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